石墨軟氈是將硬氈經(jīng)過石墨化制成，它具有質輕、擾性好，炭含量高、耐高溫、高溫無揮發(fā)，耐腐蝕，導熱系數(shù)小的性能，并有高度的形狀保持性，是高溫真空電阻爐，特別適用于半導體的特種材料，制備爐的優(yōu)良保溫材料，也是抗腐蝕的過濾材料。

石墨硬氈主要應用在：真空爐隔熱；惰性氣體爐隔熱；多晶硅/單晶硅爐隔熱

石墨軟氈的主要特性：

1、導熱系數(shù)低

2、比熱低

3、熱穩(wěn)定性高

4、阻抗良好

5、加工簡單

6、表面性能好

7、純度高

8、結構非常均勻

9、不產(chǎn)生靜電

主要特點：低導熱系數(shù)；高純度；高熱穩(wěn)定性；抗侵蝕；易切割加工

石墨氈應用在以下行業(yè)：

1.宇航工業(yè)：熱等靜壓爐，熱處理，燒結，釬焊，熱壓爐

2.半導體行業(yè)：拉制硅單晶爐，鎵砷產(chǎn)品用爐

3.金屬熱處理：熱處理爐，燒結爐，釬焊爐

4.炭纖維生產(chǎn)：感應加熱或者電阻加熱的炭化爐，石墨化爐

5.復合材料生產(chǎn)：熱解炭和熱解石墨化學氣相沉積，或其他材質的復合材料

6.能源材料：釩或其他氧化還原電池用材