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多晶爐石墨加熱板是真空電阻爐的核心部分。其質(zhì)量直接影響爐子的性能和運行成本。熱場的設(shè)計是多種多樣的。具體設(shè)計方案主要基于對工藝流程的具體分析。大多數(shù)真空電阻爐的熱場由四個主要部件組成:加熱器及其連接部件、隔熱部件(或反射屏)、熱場支撐部件和工件支承爐膛。由于材料問題或使用時間問題,這些配件經(jīng)常需要定期更換。在什么情況下需要更換石墨加熱場配件,在什么情況下需要清洗?
1、檢查石墨配件有無裂紋,特別是石墨坩堝、石墨托盤、石墨坩堝桿有無裂紋,如有裂紋應(yīng)立即向車間主管匯報,并做出更換,對有沾硅的地方應(yīng)做出判斷或向車間業(yè)主匯報。班組長應(yīng)負責(zé)在預(yù)期使用壽命前使用5臺爐前進行檢查和評審。車間主管應(yīng)負責(zé)在預(yù)期使用壽命前使用5臺爐后進行檢查和評審。
2.石墨配件使用壽命到期后,石墨配件(石墨托盤、坩堝棒、石墨坩堝)等因逾期使用而可能造成重大損失的部件應(yīng)首先拆除,并更換新的。更換的石墨配件應(yīng)密封。單晶車間、技術(shù)部門和生產(chǎn)部門應(yīng)在搬運前進行聯(lián)合檢查。應(yīng)仔細檢查加熱器、保溫管和導(dǎo)流管等其他配件,看是否有微小裂紋和缺陷。原則上,如果沒有這種缺陷,這些石墨配件可以繼續(xù)使用。帶悶爐的石墨熱場配件應(yīng)做詳細記錄。
3.發(fā)生事故時,應(yīng)詳細記錄單晶石墨熱場配件。有問題的石墨配件應(yīng)做詳細記錄,并放在指定的地方,以防混淆。